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              芯 知 社 区 半 导 体 技 术 知 识 社 区 ， 半 导 体 设 备 ， 原 材 料 以 及 信 息 技 术 中 心 芯 知 社 区 T o g g l e n a v i g a t i o n 首 页 芯 片 设 计 设 计 工 具 设 计 经 验 芯 片 制 造 工 艺 技 术 问 答 晶 圆 原 材 料 工 艺 半 导 体 设 备 制 造 工 艺 技 术 第 三 代 半 导 体 半 导 体 生 产 材 料 品 质 管 理 芯 片 封 测 芯 片 封 装 芯 片 测 试 资 源 中 心 集 成 电 路 书 籍 常 用 工 具 技 术 文 献 应 用 软 件 芯 界 故 事 行 业 故 事 芯 知 笔 记 信 息 技 术 笔 记 制 造 笔 记 关 于 芯 知 留 言 会 员 中 心 登 录 注 册 对 F a b P I E 的 最 确 切 解 读 这 才 是 台 积 电 的 真 正 实 力 半 导 体 厂 商 如 何 做 芯 片 的 出 厂 测 试 ？ P r e v i o u s N e x t 热 门 图 集 查 看 更 多 纳 米 集 成 电 路 制 造 工 艺 ( 第 2 版 ) 张 汝 京 图 解 芯 片 技 术 芯 路 一 书 读 懂 集 成 电 路 产 业 的 现 在 与 未 来 半 导 体 制 造 工 艺 基 础 最 近 更 新 工 艺 技 术 问 答 集 成 电 路 书 籍 信 息 技 术 笔 记 制 造 笔 记 行 业 故 事 设 计 工 具 C M S 内 容 管 理 系 统 ( 含 小 程 序 ， U n i A P P ) 搭 建 基 于 T h i n k P H P 5 的 C M S 内 容 管 理 系 统 C M S 内 容 管 理 系 统 ( 含 小 程 序 ) 自 定 义 内 容 模 型 、 自 定 义 单 页 、 自 定 义 表 单 、 专 题 、 统 计 报 表 、 会 员 发 布 、 付 费 阅 读 、 付 费 下 载 、 小 程 序 等 提 供 全 部 前 后 台 无 加 密 源 代 码 、 小 程 序 源 代 码 和 数 据 库 离 线 部 署 ， U n i A P P 版 本 提 供 全 部 无 加 密 无 混 淆 U n i A P P 源 码 基 于 T h i n k P H P 5 进 行 开 发 的 C M S 内 容 管 理 系 统 ， 拥 有 P C 版 、 小 程 序 版 本 、 U n i A P P 版 ( 高 级 授 权 ) ， 提 供 C M S 全 部 源 代 信 息 技 术 笔 记 2 0 2 0 年 0 7 月 1 8 日 1 3 6 点 赞 1 评 论 1 3 0 9 0 浏 览 半 导 体 设 备 软 件 开 源 框 架 制 造 工 艺 技 术 2 0 2 5 年 0 2 月 0 1 日 0 点 赞 0 评 论 3 2 9 浏 览 碳 化 硅 器 件 的 生 产 流 程 ， 碳 化 硅 有 哪 些 优 劣 势 ？ 碳 化 硅 材 料 制 成 的 器 件 分 为 导 电 型 碳 化 硅 功 率 器 件 和 半 绝 缘 型 碳 化 硅 射 频 器 件 ， 两 种 类 型 碳 化 硅 器 件 的 终 端 应 用 领 域 不 同 。 
 导 电 型 碳 化 硅 功 率 器 件 是 通 过 在 低 电 阻 率 的 导 电 型 衬 底 上 生 长 碳 化 硅 外 延 层 后 进 一 步 加 工 制 成 ， 包 括 肖 特 基 二 极 管 、 M O S F E T 、 I G B T 等 ， 主 要 用 于 电 动 汽 车 、 光 伏 发 电 、 轨 道 交 通 、 智 能 电 网 、 数 据 中 心 、 高 压 充 电 等 。 
 半 绝 缘 型 碳 化 硅 基 射 频 器 件 是 通 过 在 高 电 阻 率 的 半 绝 缘 型 碳 化 硅 衬 底 上 生 长 氮 化 镓 外 延 层 后 进 一 步 加 工 制 成 ， 包 括 H E M T 等 氮 化 镓 射 频 器 件 ， 主 要 用 于 5 G 通 信 、 车 载 通 信 、 国 防 应 用 、 数 据 传 输 、 航 空 航 天 。 
 第 三 代 半 导 体 2 0 2 4 年 0 2 月 1 6 日 3 点 赞 0 评 论 2 8 9 6 浏 览 芯 片 制 造 ， 洗 洗 更 健 康 在 芯 片 制 造 过 程 中 ， “ 清 洗 ” 步 骤 虽 然 不 起 眼 ， 但 它 占 整 个 制 造 工 序 步 骤 3 0 % 以 上 ， 不 可 轻 忽 。 
 那 么 国 产 的 半 导 体 清 洗 设 备 发 展 情 况 如 何 ？ 本 文 是 “ 果 壳 硬 科 技 ” 策 划 的 “ 国 产 替 代 ” 系 列 第 七 篇 文 章 ， 关 注 半 导 体 清 洗 设 备 国 产 替 代 。 
 在 本 文 中 ， 你 将 了 解 到 ： 为 什 么 要 在 芯 片 生 产 过 程 中 使 用 清 洗 技 术 ， 清 洗 设 备 有 什 么 关 键 技 术 点 ， 国 内 外 清 洗 设 备 市 场 情 况 。 
 付 斌 丨 作 者 李 拓 丨 编 辑 果 壳 硬 科 技 丨 策 划 一 、 遇 事 不 决 洗 一 洗 半 导 体 中 的 清 洗 技 术 是 指 在 氧 化 、 制 造 工 艺 技 术 2 0 2 2 年 0 9 月 1 5 日 8 4 点 赞 0 评 论 4 9 5 8 浏 览 离 子 注 入 机 台 基 础 介 绍 离 子 注 入 原 理 在 集 成 电 路 制 造 中 , 掺 杂 主 要 采 用 两 种 方 法 : 扩 散 法 和 离 子 注 入 法 . 扩 散 法 就 是 利 用 高 温 将 杂 质 掺 入 到 半 导 体 材 料 中 , 因 为 在 一 定 的 温 度 条 件 下 , 杂 质 原 子 具 有 一 定 的 能 量 , 它 能 够 克 服 某 种 阻 力 进 入 到 半 导 体 中 , 并 在 其 中 作 缓 慢 的 迁 移 运 动 , 这 些 杂 质 原 子 不 是 代 替 硅 原 子 的 位 置 就 是 处 在 晶 体 的 间 隙 中 . 半 导 体 设 备 2 0 2 2 年 0 7 月 1 6 日 8 6 点 赞 0 评 论 5 4 9 3 浏 览 R C A 标 准 清 洗 法 详 解 R C A 标 准 清 洗 法 R C A 标 准 清 洗 法 是 1 9 6 5 年 由 K e r n 和 P u o t i n e n 等 人 在 N . J . P r i n c e t o n 的 R C A 实 验 室 首 创 的 ， 并 由 此 而 得 名 。 
 R C A 标 准 清 洗 法 是 1 9 6 5 年 由 K e r n 和 P u o t i n e n 等 人 在 N . J . P r i n c e t o n 的 R C A 实 验 室 首 创 的 ， 并 由 此 而 得 名 。 
 R C A 是 一 种 典 型 的 、 至 今 仍 为 最 普 遍 使 用 的 湿 式 化 学 清 洗 法 ， 该 清 洗 法 主 要 包 括 以 下 几 种 清 洗 液 。 
 （ 1 ） S P M ： H 2 S O 4 / H 2 O 2 1 2 0 制 造 工 艺 技 术 2 0 2 2 年 0 7 月 1 6 日 8 5 点 赞 0 评 论 5 2 8 1 浏 览 提 高 烧 结 银 可 靠 性 的 1 2 大 关 键 因 素 第 三 代 半 导 体 2 0 2 2 年 0 4 月 2 5 日 8 0 点 赞 0 评 论 3 5 9 7 浏 览 半 导 体 材 料 的 国 产 替 代 ， 机 遇 与 挑 战 并 存 ！ 半 导 体 生 产 材 料 2 0 2 2 年 0 3 月 0 4 日 8 0 点 赞 0 评 论 3 7 8 6 浏 览 紫 光 展 锐 解 除 楚 庆 C E O 职 务 ， 内 部 员 工 爆 料 那 些 不 为 人 知 的 内 情 ！ 行 业 故 事 2 0 2 2 年 0 3 月 0 2 日 8 1 点 赞 0 评 论 3 3 1 6 浏 览 零 基 础 小 白 快 速 了 解 芯 片 生 产 制 造 流 程 行 业 故 事 2 0 2 2 年 0 3 月 0 1 日 8 2 点 赞 0 评 论 5 3 1 1 浏 览 加 载 更 多 最 新 更 新 [ 制 造 工 艺 技 术 ] 芯 片 制 造 ， 洗 洗 更 健 康 [ 半 导 体 设 备 ] 离 子 注 入 机 台 基 础 介 绍 [ 制 造 工 艺 技 术 ] R C A 标 准 清 洗 法 详 解 [ 第 三 代 半 导 体 ] 提 高 烧 结 银 可 靠 性 的 1 2 大 关 键 因 素 [ 半 导 体 生 产 材 料 ] 半 导 体 材 料 的 国 产 替 代 ， 机 遇 与 挑 战 并 存 ！ [ 行 业 故 事 ] 紫 光 展 锐 解 除 楚 庆 C E O 职 务 ， 内 部 员 工 爆 料 那 些 不 为 人 知 的 内 情 ！ [ 行 业 故 事 ] 零 基 础 小 白 快 速 了 解 芯 片 生 产 制 造 流 程 [ 制 造 工 艺 技 术 ] 笔 记 ： 光 刻 技 术 问 与 答 推 荐 资 讯 1 F i n F E T 简 介 （ 转 ） 2 这 可 能 最 简 单 的 半 导 体 工 艺 流 程 （ 一 文 看 懂 芯 片 制 作 流 程 ） （ 转 ） 3 C M S 内 容 管 理 系 统 ( 含 小 程 序 ， U n i A P P ) 搭 建 4 历 史 最 好 用 的 日 程 管 理 系 统 ， 免 费 （ 更 新 啦 ） 5 一 张 图 读 懂 半 导 体 芯 片 制 程 6 张 忠 谋 交 大 E M B A 课 堂 摘 要 7 半 导 体 行 业 公 众 号 8 超 级 好 用 的 个 人 日 程 管 理 系 统 免 费 发 放 9 工 程 师 两 难 之 G a N 还 是 S i C ？ 到 底 该 p i c k 谁 ？ 1 0 S i C 和 G a N 材 料 特 性 / 器 件 / 应 用 场 景 的 简 单 分 析 热 门 标 签 i 线 三 极 管 U C L 费 米 能 级 D r a i n R e t i c l e I G B T N A N D 南 孚 晶 圆 制 备 T e c h n o l o g y 思 维 1 2 吋 日 程 芯 片 制 造 B J T 中 芯 绍 兴 W P H 小 程 序 W e l l 闩 锁 效 应 F i n F E T 表 格 V b d I C 职 场 T h e r m a l O x i d e 栅 极 G a t e 中 兴 事 件 离 子 注 入 推 荐 下 载 1 S e m i c o n d u c t o r T e c h n o l o g y I n t r o d u c t i o n 2 B l o c k l y G a m e 编 译 后 离 线 版 下 载 少 儿 编 程 热 门 导 航 为 你 推 荐 以 下 热 门 网 站 申 请 导 航 友 情 链 接 申 请 友 情 链 接 请 务 必 先 做 好 本 站 链 接 申 请 友 链 C o p y r i g h t   ©   2 0 2 5 A l l r i g h t s r e s e r v e d . 芯 知 社 区 沪 I C P 备 1 6 0 2 5 7 3 5 号 2 关 于 我 们 用 户 协 议 会 员 中 心 微 信 小 程 序 微 信 扫 一 扫 体 验 立 即 投 稿 微 信 公 众 账 号 微 信 扫 一 扫 加 关 注 返 回 顶 部 © 2 0 1 7 2 0 2 1 . A l l R i g h t s R e s e r v e d . 沪 I C P 备 1 6 0 2 5 7 3 5 号 2 关 于 我 们 版 权 声 明 注 册 协 议 招 聘 成 员 新 闻 资 讯 推 荐 博 客 服 务 官 网 合 作 广 告

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